干涉儀

干涉儀是FTIR儀的核心部分，是FTIR儀與色散或光柵型紅外光譜儀最為白區別的器件，FTIR儀的性能指標主要由于涉儀決定。

雖然干涉儀的設計原理均基于邁克爾遜干涉儀，基本組件包括動鏡、固定鏡和束器，但為提高FTIR儀的性能指標，各儀器公司開發出具有專利技術的各種干涉儀，促使干涉儀的種類和性能不斷發展。目前，干涉儀的主要種類有：空氣軸承干涉儀、機械軸承干涉儀、皮帶移動式干涉儀、雙動鏡機械轉動式干涉、雙角鏡耦合干涉儀、動扭擺式干涉儀、角鏡型邁克爾遜干涉儀、角鏡型楔分束器干涉儀、懸掛扭擺式干涉儀等。

干涉儀的性能除了受其設計結構影響外，受到分束器種類的影響也很大，根邁克爾遜干涉儀工作原理，分束器應能將一束紅外光分裂為相同的兩部分，50%光過分束器，50%光被分束器反射，不同種類分束器對不同波數范圍的分光效果是不同的。目前常用的中紅外分束器是在溴化鉀或碘化銫基片上鍍上1μm厚的鍺，分別制成KBr/Ge分束器和Csl/Ge分束器，兩種分束器均很容易吸潮而損壞，其中CsI/Ge分束器i器比KBr/Ge分束器更容易吸潮。目前部分儀器公司使用了一種改進的KBr分束器為寬帶KBr分束器，可用于中紅外以及近紅外區。測量近紅外光譜通常使用CaF2分束器，另外還有石英分束器，石英分束器可測量范圍比CaF2分束器寬，但價格比CaF2分束器高很多。測量遠紅外光譜常用的分束器有兩種，一種是聚酯薄膜分束器(mylar film)，另一種是固體基質分束器(metal mesh)。由于遠紅外光的波長較長，當遠紅外光通過聚酯薄膜分束器時，會發生干涉，因此測量遠紅外光譜時，不同遠紅外區域所需聚酯薄膜分束器的厚度要求是不一樣的。